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潔凈室裝修材料要求構(gòu)造與裝飾要求1.用于潔凈室嵌縫的彈性密封材料及防塵涂料必須有注明成份、品種、出廠日期、貯存有效期和施工方法的說明書以及產(chǎn)品書。不得使用過期產(chǎn)品和未經(jīng)鑒定的產(chǎn)品。2.潔凈室涂料地面水泥砂漿基底的水泥標號不得低于425號，水磨石地面應現(xiàn)澆，所用小石子直徑為6—15mm，水磨石細磨后，宜用不揮發(fā)的護面材料打涂。3.潔凈室墻面和吊頂?shù)哪ɑ遥瑧獮槟ɑ?，養(yǎng)護時間應充分。不得采用受熱、濕影響產(chǎn)生變形、霉變、粉化的材料。4.潔凈室使用的木材的含水率不應大于16%，并且不得...

1凈化性能檢測對潔凈室內(nèi)使用的潔凈工作服的衣料內(nèi)外附著的污染粒子，用下列四種方法測定：ASTM的F-51法（顯微鏡法），F(xiàn)-51修證法（計數(shù)法），HELMKE轉(zhuǎn)筒法（滾筒法，相當于ASTM試驗方法）以及振動試驗法。（1）ASTM-F-51法測試探頭裝有過濾隔膜，直接連接吸風計量泵，通過的空氣量為28L/min。測試時使空氣通過試驗衣料，將空氣中含有的發(fā)塵粒子捕到試驗用的濾膜上，用400倍顯微鏡觀察并統(tǒng)計塵埃粒子數(shù)。讀出濾膜上面的0.5-5以及5以上的粒子個數(shù)。在濾膜上面印有3...

潔凈室節(jié)能的九大技巧潔凈室里存在大量可以節(jié)約能源的地方，例如暖氣、通風和空調(diào)、工藝冷卻、壓縮空氣以及一些其他的設施HVAC系統(tǒng)消耗的電力過了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費電力及HVAC的容量過剩，很大程度上是因為在設計和建造工廠時走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運行費用。率的設計和率設備需要很大的前期投入。那種“小處節(jié)約大處浪費”的所謂捷徑和削減成本，會造成工廠的運行性能降低和能耗增加。對已建成工廠的改建通常會陷入到毫無意義的經(jīng)濟漩渦當中。升級的投資收...

潔凈室設計，把操作規(guī)程放在*位堅持執(zhí)行清潔計劃作為潔凈室顧問，我們在客戶的設施中花費了大量時間，建立現(xiàn)行條件的文檔，觀測操作。有一次，潔凈室中一條ISO7級設備包裝線產(chǎn)生過要求的微粒數(shù)，要求我們對潔凈室設計進行糾正。我們在調(diào)查中發(fā)現(xiàn)潔凈室設計正確，設備安裝也合適；但是，有一天我們在潔凈室外邊發(fā)現(xiàn)真正的問題是客戶的污染控制。我們觀察到一位潔凈室技術(shù)人員從更衣室走出來，穿著工作服從大廳走到一臺自動售貨機買了一塊糖又轉(zhuǎn)回潔凈室。后來我們訪問潔凈室工作人員，很清楚，他們有操作規(guī)程，但...

潔凈室FFU（層流罩）控制系統(tǒng)1、引言隨著經(jīng)濟的發(fā)展和人們生活水平的提高，人們對產(chǎn)品質(zhì)量的要求也越來越高。而生產(chǎn)技術(shù)和生產(chǎn)環(huán)境決定了產(chǎn)品質(zhì)量，這就迫使追求更好的生產(chǎn)技術(shù)和更高的生產(chǎn)環(huán)境。特別是電子、制藥、食品、生物工程、、實驗室等領域?qū)ιa(chǎn)環(huán)境有著苛刻的要求，它綜合了工藝、建筑、裝飾、給排水、空氣凈化、暖通、空調(diào)、自動控制等多方面的技術(shù)。衡量這些行業(yè)生產(chǎn)環(huán)境質(zhì)量的主要技術(shù)指標有溫度、濕度、潔凈度、風量、室內(nèi)正壓等。因此，對生產(chǎn)環(huán)境的各個技術(shù)指標進行合理的控制，以滿足特殊生產(chǎn)工...

下面是潔凈室和潔凈區(qū)工作指南：1.保持手、指甲、臉部的清潔衛(wèi)生。人員衛(wèi)生其重要。2.進入潔凈室前必須清洗眼鏡并加以消毒?？墒茄坨R的例行清洗很容易被忘記。3.精心挑選設計的服裝系統(tǒng)。潔凈生產(chǎn)用服裝系統(tǒng)是由不同部分組成的。這樣的服裝系統(tǒng)必須完整，并以正確的方式穿著，以保證其整體的防護性能。4.應盡量保持部件與工具潔凈。5.禁止吸煙或使用鼻煙。與不吸煙者相比，吸煙者或使用鼻煙者會向空氣中多釋放出幾百萬個粒子。6.在潔凈室內(nèi)不得梳頭，甚至不能碰頭發(fā)。7.在潔凈室內(nèi)一般不允許使用化妝品...

目前有相當多的方法可以用來評估分批式注入機的雜質(zhì)顆粒水平。在我們的案例中，通過每周三次用KLA的SP1機臺對控片的雜質(zhì)顆粒增加進行檢測，該控片用來測量不同摻雜離子的表面電阻。同時，在氬氣氛中進行離子注入的17片整批晶圓也以相同的頻率每隔一天進行監(jiān)控。使用氬氣氛的好處包括可以減少不同注入離子間的交*污染和降低氣體使用的成本。這種雙重監(jiān)控方案允許我們獲得多重注入源的變化情況，包括不同天之間，不同種類的離子之間以及不同片之間的注入波動情況。這樣的監(jiān)控結(jié)果允許我們對大部分（即便不是全...